Titanium Nitride as a Strain Gauge Material

Nis Dam Madsen, Mathias Hausladen, Serguei Chiriaev, Peter Johannesen, Zacarias Eduardo Fabrim, Paulo F. P. Fichtner, Jakob Kjelstrup-Hansen

Publikation: Bidrag til tidsskriftTidsskriftartikelForskningpeer review

OriginalsprogEngelsk
TidsskriftI E E E Journal of Microelectromechanical Systems
Vol/bind25
Udgave nummer4
Sider (fra-til)683-690
ISSN1057-7157
DOI
StatusUdgivet - 2016

Citationsformater