| Originalsprog | Engelsk |
|---|---|
| Tidsskrift | Journal of Vacuum Science & Technology B |
| Vol/bind | 26 |
| Sider (fra-til) | 1619-1623 |
| Antal sider | 5 |
| ISSN | 2166-2746 |
| Status | Udgivet - 2008 |
Citationsformater
- APA
- Author
- BIBTEX
- Harvard
- Standard
- RIS
- Vancouver
Publikation: Bidrag til tidsskrift › Tidsskriftartikel › Forskning › peer review
| Originalsprog | Engelsk |
|---|---|
| Tidsskrift | Journal of Vacuum Science & Technology B |
| Vol/bind | 26 |
| Sider (fra-til) | 1619-1623 |
| Antal sider | 5 |
| ISSN | 2166-2746 |
| Status | Udgivet - 2008 |