Sputtering by ion bombardment: theoretical concepts

Publikation: Kapitel i bog/rapport/konference-proceedingKapitel i bogForskningpeer review

OriginalsprogEngelsk
TitelSputtering by Particle Bombardment I : Physical Sputtering of Single-Element Solids
RedaktørerRainer Behrisch
UdgivelsesstedBerlin
ForlagSpringer
Publikationsdato1981
Sider9-71
ISBN (Trykt)978-3-540-10521-3
ISBN (Elektronisk)978-3-540-38514-1
DOI
StatusUdgivet - 1981
NavnTopics in Applied Physics
Vol/bind47
ISSN0303-4216

Citationsformater