Simple photolithographic rapid prototyping of microfluidic chips

Bidragets oversatte titel: Simpel fotolitografi til hurtig prototypefremstilling af mikrofluide chips

Casper Kunstmann-Olsen, James Hoyland, Horst-Günter Rubahn

Publikation: Bidrag til tidsskriftTidsskriftartikelForskningpeer review

Abstrakt

Vi præsenterer en simpel metode til at producere støbeforme til støbning af PDMS mikrofluide chips vha. fotolitografi, med 35mm fotonegativer som masker. Vi demonstrer metodens muligheder og begrænsninger. Vi har optimeret processen til at fremstille planare lab-on-a-chip strukturer med meget høj kvalitet og kan med denne metode gå fra design til færdig enhed på en dag.
Bidragets oversatte titelSimpel fotolitografi til hurtig prototypefremstilling af mikrofluide chips
OriginalsprogEngelsk
TidsskriftMicroelectronic Engineering
Vol/bind98
Sider (fra-til)689-692
Antal sider4
ISSN0167-9317
StatusUdgivet - 2012

Citationsformater