Reflection electron energy loss spectroscopy for ultrathin gate oxide materials

Publikation: Bidrag til tidsskriftTidsskriftartikelForskningpeer review

604 Downloads (Pure)
OriginalsprogEngelsk
TidsskriftSurface and Interface Analysis
Vol/bind44
Sider (fra-til)623-627
Antal sider5
ISSN0142-2421
DOI
StatusUdgivet - 2012

Citationsformater