Recess Photomask Contact Lithography and the fabrication of coupled silicon photonic and plasmonic waveguide switches

Laurent Markey, Filimon Zachartos, Jean-Claude Weeber, Andreas Prinzen, Michael Waldow, Michael Grøndahl Nielsen, Tolga Tekin, Alain Dereux

Publikation: Bidrag til tidsskriftTidsskriftartikelForskningpeer review

OriginalsprogEngelsk
TidsskriftMicroelectronic Engineering
Vol/bind141
Sider (fra-til)129-134
ISSN0167-9317
DOI
StatusUdgivet - 2015
Udgivet eksterntJa

Citationsformater