Electrical activation of Arsenic Implanted in Silicon on Insulator (SOI)

Roana Melina de Oliveira Hansen, Mateus Dalponte, Henri Boudinov

    Publikation: Bidrag til tidsskriftTidsskriftartikelForskningpeer review

    OriginalsprogEngelsk
    TidsskriftJournal of Physics D: Applied Physics
    Vol/bind40
    Udgave nummer5227
    ISSN0022-3727
    StatusUdgivet - 2007

    Citationsformater