Distortion of depth profiles during sputtering. I. General description of collisional mixing

P. Sigmund, A. Gras-Marti

Publikation: Bidrag til tidsskriftTidsskriftartikelForskningpeer review

OriginalsprogEngelsk
TidsskriftNuclear Instruments and Methods
Vol/bind168
Udgave nummer1-3
Sider (fra-til)389-394
DOI
StatusUdgivet - 1980

Citationsformater