Originalsprog | Engelsk |
---|---|
Tidsskrift | Nuclear Instruments and Methods |
Vol/bind | 168 |
Udgave nummer | 1-3 |
Sider (fra-til) | 389-394 |
DOI | |
Status | Udgivet - 1980 |
Distortion of depth profiles during sputtering. I. General description of collisional mixing
P. Sigmund, A. Gras-Marti
Publikation: Bidrag til tidsskrift › Tidsskriftartikel › Forskning › peer review